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陶瓷石英厚度平面度检测仪

陶瓷石英厚度平面度检测仪

产品简介

用于石英、陶瓷、环体、盘体、静电卡盘(ESC)、加热盘等材料厚度、平面度、平行度、翘曲度等指标检测。

产品特点

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● 用于氧化铝、碳化硅、氮化铝、氮化硅等材料厚度、平面度、平行度、翘曲度等指标检测:

● 对射自动标定功能,亚微米级精密感知;

● 三点支撑方式,零损伤检测保障;

● 相机快速定位,精准检测;

● AI时刻学习,超强算法;

● 可定制自动化上下料;



采集模式

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云图数据

应用领域

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