用于石英、陶瓷、环体、盘体、静电卡盘(ESC)、加热盘等材料厚度、平面度、平行度、翘曲度等指标检测。
产品特点
● 用于氧化铝、碳化硅、氮化铝、氮化硅等材料厚度、平面度、平行度、翘曲度等指标检测:
● 对射自动标定功能,亚微米级精密感知;
● 三点支撑方式,零损伤检测保障;
● 相机快速定位,精准检测;
● AI时刻学习,超强算法;
● 可定制自动化上下料;
采集模式
云图数据
应用领域
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