光谱共焦测量通过使用特殊透镜,延长不同颜色光的焦点光晕范围,形成特殊放大色差,使其根据不同的被测物体到透镜的距离,会对应一个精确波长的光聚焦到被测物体上。通过测量反射光的波长,就可以得到被测物体到透镜的精确距离。

· 用于碳化硅、砷化镓、氮化镓、蓝宝石等；

· 晶圆厚度、TTV（总厚度变化）、WARP（翘曲度）、BOW（弯曲度）等测量功能；

· 对射自动标定功能，亚微米级精密感知；

· 三点固定，零损伤检测保障；

· 相机快速定位，精准检测；

· AI时刻学习，超强算法；

· 可定制自动化上下料；