丰富的外观图和详细的原始数据：

• 线光谱位移传感器

• 3D点云图

• 2D轮廓图

• 高清灰度图

• 高清深度图

一次扫描表面轮廓，即可生成高质量的外观图和原始数据

3D线光谱共焦传感器采用2048点/线，最小1.1μm间隔，可细致入微的呈现目标物形状，还可实现细微凹陷及凸起等外观检查。

Z轴重复精度最高0.1μm,超高精度为您提供更快、更准确的测量结果。

3D线光谱共焦传感器具备最快35000线/秒的超高速扫描速度，且易于集成到定制检测系统，可完美应用于工厂流水线/复杂且大批量的高精度扫描场景中，实现物体表面多方位的3D成像分析。

线光谱共焦传感器：光斑尺寸：(1~10) μm * (1~19) mmX方向分辨率：1μm，Z轴重复精度：0.1μm采样频率：3.5KHz

重复精度（3σ）：±0.3μm

高精度大理石三轴测量运动平台。

可同时输出2D图/3D图/ 灰度值/厚度值。

■ 尺寸/形貌/断层/孔隙/裂纹检测。

■ 密封钉焊接缺陷检测，极耳焊印检测。

■ 涂布边缘削薄区轮廓检测、厚度全检。

■ 半导体晶圆形貌检测。