利用光的干涉现象，通过分析具备相位差的两路反射光的干涉条纹来换算待测物体的厚度。

测量传感器：高精度光谱共焦位移传感器。

测量方式：反射式光学几何厚度测量。

根据分光干涉条纹的周期和薄膜厚度的关系，利用傅立叶变换方法，解析薄膜的厚度。

双探头上下同轴相对安装，采用三角几何法，通过测量材料上下表面到激光器的距离，来测量材料的几何厚度。

两个激光位移传感器上下对射的方式组成的，上下的两个传感器分别利用三角形测量法