■ 2D线光谱共焦传感器，

光斑尺寸：(1~10) μm * (1~19) mm

X方向分辨率：1μm，

Z轴重复精度：0.1μm

采样频率：3.5KHz

■ 重复精度（3σ）：±0.3μm

■ 高精度大理石三轴测量运动平台。

■ 可同时输出2D图/3D图/ 灰度值/厚度值。

应用场景

■ 尺寸/形貌/断层/孔隙/裂纹检测。

■ 密封钉焊接缺陷检测，极耳焊印检测。

■ 涂布边缘削薄区轮廓检测、厚度全检。

■ 半导体晶圆形貌检测。

密封钉焊接缺陷检测

削薄区轮廓与厚度全检