锐奇产品列表ruiqi product lists
测量原理
白色照明光源垂直照射到待测薄膜，一部分光经过薄膜上表面的反射，返回到分光仪。另一部分透过
薄膜上表面，经过薄膜与底层之间的界面反射，返回到分光仪（图 1）。这两束光在分光仪的光电转换器表
面重合，形成分光干涉条纹。根据分光干涉条纹的周期和薄膜厚度的关系，利用傅立叶变换方法，解析薄
膜的厚度（图 2 和图 3）。在薄膜厚度解析过程，利用不同类型材料的相应参数修订解析模型，从而进一步
提高不同类型材料膜厚测量的准确性
图 1. 薄膜测量系统图
图 2. 薄膜厚度和分光干涉条纹之间关系示意图
产品型号 | 光学膜厚仪 | ||||
产品编号 | RQ-01 | RQ-02 | RQ-03 | RQ-04 | |
测量类型 | 薄膜型 | 常规型 | 常规型- Ⅱ | 硅专用型 | |
波长范围 | 190-1100nm | 350-1020nm | 380-960nm | 950-1100nm | |
测量 厚度 | （n=1.5） | 1nm-50µm | 10nm-80µm | 500nm-260µm | 10µm-1400µm |
（n=3.5）/Si | u | u | 1µm-75µm | 5µm-600µm | |
准 确 度 | 0.2%或 1nm（取较大值） | 0.2%或 2nm | 0.4%或 5nm | ||
重 复 性 | 0. 1nm | 0.2nm | 1nm | ||
测量层数 | 单层和多层 | 单层 | 单层 | ||
分 辨 率 | 0.1nm（测量结果显示最小值） | ||||
测量模式 | 反射法 | ||||
入 射 角 | 90 ° | ||||
测试材料 | 透明或半透明的薄膜材料 | ||||
测量时间 | 100ms/Point（最大频率 300HZ） | ||||
工作距离 | 10-50mm（物镜前端至样品表面距离） | ||||
测量视野 | 25µm-1mm（和使用的物镜有关） | ||||
在线测量 | 可以（适用于多通道测量） | ||||
锐奇膜厚仪应用行业领域
可应用于光伏、高分子材料薄膜层的厚度测量, 半导体（硅，单晶硅，多晶硅）、液晶显示屏测量、汽车玻璃、光学镀膜测量、聚合物涂料、太阳能电池薄膜测量。
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