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光谱共焦测厚仪测量原理与应用特点
测量传感器:高精度光谱共焦位移传感器。
测量方式:反射式光学几何厚度测量。
在测量过程中,由光源发出的一束宽光谱的混色光,通过色散镜头发生光谱色散,形成不同波长的单色光。由于每一种单色光的波长不同,在光轴空间上形成一组连续的焦点,每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来,只有满足共焦条件的单色光,可以通过光路小孔被光谱仪感测到,通过计算被感测到的波长,换算获得距离值。
锐奇光谱共焦测厚仪具有高精度、高稳定性、大角度、高采样频率等测量特性,对于塑料薄膜、玻璃、高光金属等透明或不透明的镜面/半镜面反射材料,以及多层透明材料厚度测量具有特有优势。
光谱共焦测厚仪根据不同材料测量需求,可采用单测头测厚仪或双测头测量。对于透明材料多采用单测头测量。
双测头测厚仪采用大理石或铸铁C型扫描架,单测头测厚仪采用π型龙门式扫描架。
各种材料的测量模式如下图:
技术特色和强大的软件功能模块
华为软件架构师和大数据专家量身打造的新一代在线测量软件系统,功能更强大,算法更科学。
采用光谱共焦位移传感器,结合锐奇先进的测量软件算法,提供更高重复精度。
可实现扫描测量、定点测量、循环定点测量,扫描和定点模式任意切换。
单次/多次轮廓线、分区线、趋势线等丰富的测量曲线实时呈现、多种品质数据显示。
基于数据库的海量全价值数据excel格式存储,历史数据查询和追溯,历史曲线复显。
专业级SPC统计分析,自动生成品质卷报,并可根据客户需求定制。
多种过程控制解决方案,五线品质控制,多重预警和报警,超限喷码打标。
支持实现闭环自动控制,可对接客户MES系统,可实现多机架同点对位跟踪测量。
自主研发数据采集卡与控制板卡,实时通信系统与CANOPEN总线通信传输,保证高速测量响应。
更强易用性和友好人机界面,一键智能操作,易学易用
性能指标
型号 | RSG700L、RSG750L、RSG850L 。。 |
测量方式 | 扫描测量、定点测量、循环定点测量 |
测量范围 | 0 ~1000μm |
采样距离 | 1mm |
重复精度 | ±0.2μm |